一种碳化硅晶体生长炉下盖总成(半导体5G电信新能源光伏航天军工报过项目)
本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉下盖总成,涉及碳化硅晶体生长炉技术领域,包括炉体下盖,炉体下盖的底部固定连接有盖板,炉体下盖的一侧设有抽气口,盖板的轴心位置贯穿设有转轴,转轴通过轴套固定连接在盖板上;盖板的下方固定设有用于转轴旋转的驱动机构;转轴位于炉体下盖内的一端上固定设有托盘,托盘上固定设有用于放置石墨坩埚的石英管。本实用新型可使放置在炉体内部的石墨坩埚进行旋转,使碳化硅晶体生长的原料受热更加均匀,确保了原料区域气化的量保持一致,另外可使气化上升的原料以旋转的方式落入到籽晶区域,连续不断的这种旋转升华堆叠,可有效提高结晶的一致性,从而提高碳化硅晶体的结晶品质。
《一种碳化硅晶体生长炉下盖总成(半导体5G电信新能源光伏航天军工报过项目)》是一实用新型,专利号为 2023205940501,当前法律状态为已下证,由南京宏泰晶智能装备科技有限公司提出申请,发明人为于永澔;李光,申请日期为2023-03-23,公开(公告)日期为2023-12-15,国际专利分类号(IPC)为 C30B 29/36 (2006.01),高新资质:已报高企。该专利已下发证书,权利稳定,适合直接办理转让过户,是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更(过户)的一站式专利转让服务,专业顾问全程协助,确保交易合规、安全、高效。专利摘要:本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉下盖总成,涉及碳化硅晶体生长炉技术领域,包括炉体下盖,炉体下盖的底部固定连接有盖板,炉体下盖的一侧设有抽气口,盖板的轴心位置贯穿设有转轴,转轴通过轴套固定连接在盖板上;盖板的下方固定设有用于转轴旋转的驱动机构;转轴位于炉体下盖内的一端上固定设有托盘,托盘上固定设有用于放置石墨坩埚的石英管。本实用新型可使放置在炉体内部的石墨坩埚进行旋转,使碳化硅晶体生长的原料受热更加均匀,确保了原料区域气化的量保持一致,另外可使气化上升的原料以旋转的方式落入到籽晶区域,连续不断的这种旋转升华堆叠,可有效提高结晶的一致性,从而提高碳化硅晶体的结晶品质。
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